SOLVACS 溶剤系洗浄 ソルバックス
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特徴
真空-
- 非ハロゲン系炭化水素溶液
- 変性アルコール
- 塩素系炭化水素溶液
（トリ- またはテトラクロロエチレン、塩化メチレン）
- 溶剤系と水系の複合プロセスを利用した部品洗浄装置
機種構成
| 機種 | サイズ１ | サイズ2 | サイズ3 | マルチチャンバ システム |
インライン システム |
|---|---|---|---|---|---|
| 処理寸法 (mm) |
370 ｘ 220 ｘ 200 | 530 ｘ 320 ｘ 200 | 670 ｘ 480 ｘ 300 | ||
| ローディング | 手動 | 手動または自動 | 手動または自動 | 自動 | アンローディング :対向、自動 |
| チャンバー数 | ２または３ |
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サイズ１ 処理寸法 370 ｘ 220 ｘ 200 |
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サイズ2 処理寸法 530 ｘ 320 ｘ 200 |
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サイズ3 処理寸法 670 ｘ 480 ｘ 300 |
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マルチチャンバ ローディング 自動 |
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インラインシステム ローディング 自動 |