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特徴

真空-

 

機種構成

機種 サイズ1 サイズ2 サイズ3 マルチチャンバ
システム
インライン
システム
処理寸法
(mm)
370 x 220 x 200 530 x 320 x 200 670 x 480 x 300    
ローディング 手動 手動または自動 手動または自動 自動 アンローディング
:対向、自動
チャンバー数       2または3  

 

サイズ1

処理寸法 370 x 220 x 200
ローディング  手動
チャンバー数  1

サイズ2

処理寸法 530 x 320 x 200
ローディング  手動または自動
チャンバー数  1

サイズ3

処理寸法 670 x 480 x 300
ローディング  手動または自動
チャンバー数  1

マルチチャンバ

ローディング  自動
チャンバー数  2または3

インラインシステム

ローディング  自動 
ローディングとアンローディングが互いに対向