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YHP-2D
ウエハ供給対応ハイブリッドプレーサー

 

  • ウエハ供給ベアチップ搭載機能をオールインワンでシステムアップ。 6,000cph(0.6秒/chip換算)の高速搭載
  • 繰り返し精度(3σ)±20μmの高精度
  • 6~8インチウエハ計10枚を自在にハンドリング
  • □0.2~□15mmサイズのベアチップに対応

 

基本仕様

機種 YHP-2D
基板寸法 L30xW30(W50)mm(Min)~L300xW150(W105)mm(Max)
*W寸法は、フィーダープレート配置で変化します。
基板厚 0.1mm~3.0mm
基板搬送方向 右→左(オプション:左→右)
コンベア基準 手前側(オプション:奥側)
装着精度 ヤマハ評価用標準部品時 4Mヘッド仕様:繰り返し精度(3σ):±20μm
装着タクト 最適条件 4Mヘッド仕様:6,000CHP(0.6秒/chip換算)
部品供給形態 6~8インチウエハ、テープリール、バルク
搭載可能部品 □0.2mm~□15mm部品
電源仕様 三相AC200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz
電源容量 4.4kVA
平均消費電力 0.7kW
平均消費流量 200l/min(ANR)(Average)
供給エア 0.55Npa以上、300l/min(ANR)(Max)、清浄乾燥状態
外形寸法 L1,350xW1,756xH1,850mm(3色シグナルタワー頭頂部)
本体質量 約1,530kg

仕様・外観は改良のため予告なく変更する事があります。