YHP－2D
ウエハ供給対応ハイブリッドプレーサー
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基本仕様
| 機種 | YHP-2D | ||||||
| 基板寸法 | L30xW30(W50)mm(Min)～L300xW150(W105)mm(Max) *W寸法は、フィーダープレート配置で変化します。 |
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| 基板厚 | 0.1mm～3.0mm | ||||||
| 基板搬送方向 | 右→左（オプション：左→右） | ||||||
| コンベア基準 | 手前側（オプション：奥側） | ||||||
| 装着精度 | ヤマハ評価用標準部品時 | 4Mヘッド仕様：繰り返し精度（3σ）：±20μm | |||||
| 装着タクト | 最適条件 | 4Mヘッド仕様：6,000CHP（0.6秒/chip換算） | |||||
| 部品供給形態 | 6～8インチウエハ、テープリール、バルク | ||||||
| 搭載可能部品 | □0.2mm～□15mm部品 | ||||||
| 電源仕様 | 三相AC200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz | ||||||
| 電源容量 | 4.4kVA | ||||||
| 平均消費電力 | 0.7kW | ||||||
| 平均消費流量 | 200l/min(ANR)(Average) | ||||||
| 供給エア | 0.55Npa以上、300l/min(ANR)(Max)、清浄乾燥状態 | ||||||
| 外形寸法 | L1,350xW1,756xH1,850mm(3色シグナルタワー頭頂部） | ||||||
| 本体質量 | 約1,530kg | ||||||
仕様・外観は改良のため予告なく変更する事があります。
