基板検査装置

YSi-12　高速・高精度・ハイブリッド光学外観検査装置

• 15sec　光学検査機トップの検査スピード
  
• ５メガピクセル　高精度テレセントリック光学系
  
• Ｌ1,000ｘＷ460ｍｍ　大型基板対応
  
• ３段ドーム照明：上段・中段・下段各RGBフルカラー＋上段　赤外線

YVi-Ｘ２Ｈ　Ｘ線・レーザー・赤外線・可視光ハイブリッド・硬化後インライン検査装置

• Ｘ線ハンダ検査：ＣＳＰ／ＢＧＡなどの下面電極も全品検査
  
• ３段ドーム照明で高速検査：25ｍsec／cm² 　　（□150ｍｍ区画当り約６秒、単照明）
  
• 狭角レーザーでＺ方向検査。