窒化・軟窒化技術用語辞典

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ヤマハヘリウム式リークテスターは、ワークを検査用真空チャンバーにセット後、ワーク内に所定圧力までヘリウムガスを噴射加圧し、 真空チャンバー内に漏れたヘリウムガスをリークディレクターによって測定し、設定された漏れ量に対しての合否を判定するシステムです。 この他にスニッファー法などによるシステムでも検査が可能です。

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